T-6000L-G高精度微組裝系統(tǒng)產(chǎn)品概述
該系統(tǒng)是T-6000L的增強(qiáng)版,設(shè)備主體采用復(fù)雜的大理石框架結(jié)構(gòu),可升級(jí)上下料系統(tǒng)以及軌道系統(tǒng),能夠完全適用于on-line在線(xiàn)生產(chǎn)模式,設(shè)備XY軸由線(xiàn)性馬達(dá)驅(qū)動(dòng),擁有眾多可選配置,能勝任用戶(hù)的各種應(yīng)用需求,特別適合預(yù)燒結(jié)制程
可選配置
主體軌道,上下料系統(tǒng),SL或AFC鍵合頭、多工位吸頭組件及吸頭切換、時(shí)間壓力或螺桿點(diǎn)膠、蘸膠、蘸助焊劑、刮擦、吸嘴加熱、多種共晶加熱臺(tái)、Flip-Chip芯片翻轉(zhuǎn)臺(tái)、上視攝像頭、晶圓臺(tái)、客戶(hù)定制夾具臺(tái)、SMT料帶送料器、UV Indexer
產(chǎn)品特點(diǎn)
設(shè)計(jì)精巧的貼裝工具和快速更換系統(tǒng)可以幫助實(shí)現(xiàn)高精度的芯片鍵合,同時(shí)兼顧了工藝的靈活性和充分的自動(dòng)化程度,
降低人為因素的影響。
直觀的圖像界面使得系統(tǒng)易于操作,狀態(tài)即時(shí)預(yù)覽和提醒式菜單提供了快速和簡(jiǎn)便的方式來(lái)對(duì)系統(tǒng)的各功能進(jìn)行齊全的
操控
設(shè)備主要性能指標(biāo):
XY*大移動(dòng)范圍: 450mm x 400mm (自動(dòng),0.1μm 分辨率)
XY貼放移動(dòng)區(qū)域: 400mm x 315mm (自動(dòng),0.1μm 分辨率)
XY移動(dòng)(晶圓臺(tái)): 220mm x 220mm *大支持8”晶圓,(自動(dòng),0.1μm 分辨率)
Z移動(dòng): 100mm (自動(dòng),0.1μm 分辨率)
吸片頭旋轉(zhuǎn): SL貼片頭360°,AFC貼片頭±100° (自動(dòng),角度分辨率 ±0.02°)
鍵合壓力: 標(biāo)準(zhǔn)15g-800g (可選15g-30000g)
產(chǎn)能: 800片/小時(shí) (按照標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用測(cè)算)
貼裝精度: 3 μm@3sigma
壓縮空氣: 6 bar ,6mm氣管
氮?dú)猓?span> 4 bar
,
6mm氣管
真空: 0.1 bar (abs.) *小4.5 m3/h,兩路無(wú)相互干擾真空源,6mm氣管
(若客戶(hù)有廠(chǎng)務(wù)真空,需另配一臺(tái)真空泵,若沒(méi)有則配兩臺(tái)真空泵)
外形尺寸: 1360mm x 995mm x 1690mm
重量: 1300kg (approx.)
輸入電壓: 220V-260V, 50Hz, 2.3kW 單相,兩路電源接口
網(wǎng)址: http://www.micropowergroup.com
郵件:bowenzhang@micropowergroup.com