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產(chǎn)品概述

全自動(dòng)共晶貼片機(jī)T-6000L-G是高精度微組裝系統(tǒng),適用于從研發(fā),試產(chǎn)到規(guī)模生產(chǎn)的過(guò)程。 標(biāo)準(zhǔn)配置芯片拾取系統(tǒng)。 自動(dòng)芯片貼裝使用優(yōu)越的圖像識(shí)別技術(shù),同時(shí)保持了操作的靈活和簡(jiǎn)便,可用于手動(dòng)貼裝單芯片


產(chǎn)品詳細(xì)

T-6000L-G高精度微組裝系統(tǒng)產(chǎn)品概述

該系統(tǒng)是T-6000L的增強(qiáng)版,設(shè)備主體采用復(fù)雜的大理石框架結(jié)構(gòu),可升級(jí)上下料系統(tǒng)以及軌道系統(tǒng),能夠完全適用于on-line在線(xiàn)生產(chǎn)模式,設(shè)備XY軸由線(xiàn)性馬達(dá)驅(qū)動(dòng),擁有眾多可選配置,能勝任用戶(hù)的各種應(yīng)用需求,特別適合預(yù)燒結(jié)制程

可選配置


主體軌道,上下料系統(tǒng),SLAFC鍵合頭、多工位吸頭組件及吸頭切換、時(shí)間壓力或螺桿點(diǎn)膠、蘸膠、蘸助焊劑、刮擦、吸嘴加熱、多種共晶加熱臺(tái)、Flip-Chip芯片翻轉(zhuǎn)臺(tái)、上視攝像頭、晶圓臺(tái)、客戶(hù)定制夾具臺(tái)、SMT料帶送料器、UV Indexer



 

 產(chǎn)品特點(diǎn)

設(shè)計(jì)精巧的貼裝工具和快速更換系統(tǒng)可以幫助實(shí)現(xiàn)高精度的芯片鍵合,同時(shí)兼顧了工藝的靈活性和充分的自動(dòng)化程度,

降低人為因素的影響。

直觀的圖像界面使得系統(tǒng)易于操作,狀態(tài)即時(shí)預(yù)覽和提醒式菜單提供了快速和簡(jiǎn)便的方式來(lái)對(duì)系統(tǒng)的各功能進(jìn)行齊全的

操控

 

設(shè)備主要性能指標(biāo):

     XY*大移動(dòng)范圍:   450mm x 400mm (自動(dòng),0.1μm 分辨率)

          XY貼放移動(dòng)區(qū)域: 400mm x 315mm (自動(dòng),0.1μm 分辨率)

          XY移動(dòng)(晶圓臺(tái)):   220mm x 220mm *大支持8”晶圓,(自動(dòng),0.1μm 分辨率)

            Z移動(dòng):          100mm  (自動(dòng),0.1μm 分辨率)

            吸片頭旋轉(zhuǎn):     SL貼片頭360°AFC貼片頭±100°  (自動(dòng),角度分辨率 ±0.02°)

           鍵合壓力:       標(biāo)準(zhǔn)15g-800g (可選15g-30000g)

           產(chǎn)能:           800片/小時(shí) (按照標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用測(cè)算)

            貼裝精度:       3 μm@3sigma

           壓縮空氣:       6 bar ,6mm氣管

          氮?dú)猓?span>           4 bar ,6mm氣管

          真空:           0.1 bar (abs.) *小4.5 m3/h,兩路無(wú)相互干擾真空源,6mm氣管

(若客戶(hù)有廠(chǎng)務(wù)真空,需另配一臺(tái)真空泵,若沒(méi)有則配兩臺(tái)真空泵)

          外形尺寸:        1360mm x 995mm x 1690mm

          重量:            1300kg (approx.)

           輸入電壓:        220V-260V, 50Hz, 2.3kW 單相,兩路電源接口




 網(wǎng)址: http://www.micropowergroup.com

 郵件:bowenzhang@micropowergroup.com

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