Temescal真空電子束鍍膜機

產(chǎn)品概述
產(chǎn)品詳細
產(chǎn)品相關(guān)

產(chǎn)品概述

Temescal真空電子束鍍膜機是Temescal公司明星產(chǎn)品，Temescal成立于1952年，是真空電子束蒸鍍技術(shù)的***，提供*先進的精密鍍膜系統(tǒng)以及電子槍組件。Temescal在準確控制材料蒸氣云分布方面擁有豐富的經(jīng)驗與獨到的技術(shù)，典型材料如鈦、鉑、金、鈀、銀、鎳、鋁、鉻、銅、鉬、錫、二氧化硅、氧化銦錫，可獲得優(yōu)異的薄膜沉積均勻性和一致性。

產(chǎn)品詳細

品牌概述

Temescal成立于1952年，是真空電子束蒸鍍技術(shù)的***，提供*先進的精密鍍膜系統(tǒng)以及電子槍組件。Temescal在準確控制材料蒸氣云分布方面擁有豐富的經(jīng)驗與獨到的技術(shù)，典型材料如鈦、鉑、金、鈀、銀、鎳、鋁、鉻、銅、鉬、錫、二氧化硅、氧化銦錫，可獲得優(yōu)異的薄膜沉積均勻性和一致性。
Temescal上乘的工藝實現(xiàn)能力包括：高均勻性多層膜系工藝設(shè)計，*先進的大功率電子槍及控制電源，，無死角操作的雙開門設(shè)計，潔凈無油真空系統(tǒng)，多種精密工件架，全自動薄膜工藝控制系統(tǒng)等。

應(yīng)用領(lǐng)域

Temescal總部在美國加州，擁有獨立完善的設(shè)計、制造、銷售和研發(fā)部門，其關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢著重體現(xiàn)于成套沉積系統(tǒng)和電子槍組件。在高亮度LED、GaAs基無線通信芯片、光通訊器件、太陽能光伏、微機械（MEMS）和聲表器件（SAW）等領(lǐng)域擁有很高的聲譽和眾多杰出用戶。

產(chǎn)品特點

特點
1. 業(yè)內(nèi)獨有的真空鎖式批量蒸鍍系統(tǒng)
2. 整個電子束蒸發(fā)源可與腔室分離并轉(zhuǎn)到設(shè)備框架之外
3. 高性能電子槍和控制器
4. 所有OEM組件均來自世界**供應(yīng)商
5. 豐富的剝離(Lift-off)工藝經(jīng)驗
6. 高均勻性和高材料利用率
7. 可靠靈活的全自動控制系統(tǒng)
8. 設(shè)備性能完全滿足24/7的嚴格的FAB生產(chǎn)要求
9. 專業(yè)的工藝研發(fā)和技術(shù)支持

技術(shù)參數(shù)

FC/BCD2800
為Temescal真空電子束鍍膜機的中型生產(chǎn)設(shè)備，真空鎖結(jié)構(gòu)可選，適合100mm~150mm晶圓工藝生產(chǎn)